Как показывают последние работы, вместо электронного можно использовать луч лазера. Эта разновидность микроанализа находится еще в стадии лабораторных разработок.
Техника приготовления проб. Важными характеристиками образцов являются: шероховатость поверхности, электропроводность и теплопроводность. Для металлических образцов эти требования не вызывают таких затруднений, как в случае неметаллических материалов. Если проба не электропроводна, то на месте попадания электронного пучка накапливается избыточный заряд, который в дальнейшем мешает линейному перемещению луча. Вторая причина искажения результатов микрозондирования заключается в плохом заземлении образца, что уменьшает интенсивность рентгеновского излучения и глубину проникновения электронов. Чтобы компенсировать эти недостатки, на неметаллической пробе напыляют металлическую пленку с толщиной до 100 А. В качестве напыляемого металла используют серебро, медь, алюминий, бериллий и углерод.
Вопросы подготовки поверхности пробы к напылению металлической пленки все еще являются спорными. Некоторые авторы рекомендуют работать без травления образца, чтобы избежать изменения состава поверхностного слоя, другие напротив рекомендуют слабое травление, что усиливает топографию пробы и облегчает идентификацию фаз при микрозондировании. Другая проблема, которая возникает при исследовании неметаллических (окисных) проб с плохой теплопроводностью, состоит в сильном нагреве материала под действием электронного пучка. Нагревание пробы в отдельных случаях может привести к разрушению образца, что вынуждает использовать маленькие пробы в чехлах из теплопроводного материала. Для этих целей часто используют эпоксидные смолы с металлическим наполнителем (алюминий, серебро, графит). Серебро в качестве наполнителя используют в случае высоких требований к электро- и теплопроводности. Если требуется минимальный фон (например для улучшения контраста), применяют графит или алюминий.
Нашел сегодня фирму в которой предлагаются . Кстати, цены на все марки машин у них довольно низкие.